静電チャック電源仕様
 
形 式   ESC3KEE20
定 格   出力±DC3KV  ±40mA 電圧変動率  0.2%以下
0〜100%負荷変動に対して 安定度     0.2%以下
出力調整範囲   ±30V−3KV ポテンショメータにより可変
双極電圧、単極電圧単独可変
引外タイマ−   なし
出力ケ−ブル   高電圧BNC付同軸ケ−ブル(RG59/U)
外部制御
(コネクタ)
  制御電源は外部DC24Vにより動作 
インタ−ロック入力   無電圧接点(オ−プンコレクタ)
出力 ON入力      無電圧接点(オ−プンコレクタ)
−極性入力       無電圧接点(オ−プンコレクタ)
外部出力   出力動作中       無電圧接点(DC30V、200mA)
警報            無電圧接点(DC30V、200mA)
出力モニタ電圧      電圧、電流とも 100%/10V
保護機能   過電圧     最大定格の110%で出力制限
定電流     定格の10%〜100%内部設定可能
不足電圧   設定電圧の 70%以下が2秒間継続で出力OFF
         定電流制限による電圧降下でも警報が発生します。
警報表示   不足電圧警報      警報LED 点灯
設置条件   水平 ファンによる背面排気(JIS標準ラック取付形)
電 源   AC100V 500VA  
外形寸法   W480xH150xD410
重 量   約17Kg
付属品   電源ケ−ブル       3m3P接地付   1本
外部制御用コネクタ   15P(Female)   1個
出力ケ−ブル       指定長       2本
 
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