静電チャック電源仕様
形　式		ＥＳＣ３ＫＥＥ２０
定　格		出力±ＤＣ３ＫＶ　　±４０mＡ　電圧変動率　　０．２％以下 ０〜１００％負荷変動に対して　安定度　　　 　０．２％以下
出力調整範囲		±３０Ｖ−３ＫＶ　ポテンショメータにより可変 双極電圧、単極電圧単独可変
引外タイマ−		なし
出力ケ−ブル		高電圧ＢＮＣ付同軸ケ−ブル（ＲＧ５９／Ｕ）
外部制御 （コネクタ）		制御電源は外部ＤＣ２４Ｖにより動作　 インタ−ロック入力　　　無電圧接点（オ−プンコレクタ） 出力　ＯＮ入力　　　　 　無電圧接点（オ−プンコレクタ） −極性入力　　　　　　　無電圧接点（オ−プンコレクタ）
外部出力		出力動作中　　　　　　　無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ） 警報　　　　　　　 　　　　無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ） 出力モニタ電圧　　　　　 電圧、電流とも　１００％／１０Ｖ
保護機能		過電圧　　 　　最大定格の１１０％で出力制限 定電流　　 　　定格の１０％〜１００％内部設定可能 不足電圧　　　設定電圧の　７０％以下が２秒間継続で出力ＯＦＦ 　　　　　　　　　定電流制限による電圧降下でも警報が発生します。
警報表示		不足電圧警報　　　　　　警報ＬＥＤ　点灯
設置条件		水平　ファンによる背面排気（ＪＩＳ標準ラック取付形）
電　源		ＡＣ１００Ｖ　５００ＶＡ
外形寸法		Ｗ４８０ｘＨ１５０ｘＤ４１０
重　量		約１７Ｋｇ
付属品		電源ケ−ブル　　　　　 　３ｍ３Ｐ接地付　　 １本 外部制御用コネクタ　　　１５Ｐ（Female) 　　１個 出力ケ−ブル　　　　　 　指定長　　　　　　　２本
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