０〜１００％負荷変動に対して 安定度 ０．５％以下
双極電圧、単極電圧単独可変
（コネクタ）
出力 ＯＮ入力 外部ＤＣ２４Ｖによる制御
単極選択入力 外部ＤＣ２４Ｖによる制御
警報 無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ）
過電流 内部にて定電流設定１０〜１０３％
不足電圧 設定電圧の ８０％以下が1秒間継続で出力ＯＦＦ
外部制御用コネクタ １５Ｐ（Female) １個
出力ケ−ブル 指定長 ２本
| 静電チャック電源仕様 | ||
| 形 式 | ＥＳＣ３ＫＥＥ１０ | |
| 定 格 | 出力±ＤＣ３ＫＶ ±１００ｍＡ 変動率 ０．５％以下 ０〜１００％負荷変動に対して 安定度 ０．５％以下 |
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| 出力調整範囲 | ±３０Ｖ−３ＫＶ ポテンショメータにより可変 双極電圧、単極電圧単独可変 |
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| 出力ケ−ブル | 高電圧ＢＮＣ付同軸ケ−ブル（ＲＧ５９／Ｕ） | |
| 外部制御 （コネクタ） |
インタ−ロック入力 外部ＤＣ２４Ｖによる制御 出力 ＯＮ入力 外部ＤＣ２４Ｖによる制御 単極選択入力 外部ＤＣ２４Ｖによる制御 |
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| 外部出力 | 出力動作中 無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ） 警報 無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ） |
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| 保護機能 | 過電圧 最大定格の１１０％リミット 過電流 内部にて定電流設定１０〜１０３％ 不足電圧 設定電圧の ８０％以下が1秒間継続で出力ＯＦＦ |
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| 警報表示 | 不足電圧警報 ＬＥＤ ＯＶ点滅 | |
| 設置条件 | 水平 強制空冷（ＪＩＳ標準ラック取付形） | |
| 電 源 | ＡＣ２００Ｖ ９００ＶＡ | |
| 外形寸法 | Ｗ４８０ｘＨ２５０ｘＤ４１０ | |
| 重 量 | 約２３Ｋｇ | |
| 付属品 | 電源コネクタ ＮＣＳ２５３Ｐ １個 外部制御用コネクタ １５Ｐ（Female) １個 出力ケ−ブル 指定長 ２本 |
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