静電チャック電源仕様
 
形 式   ESC3KS241
定 格   出力±DC3KV  ±0.5mA 電圧変動率  2%以下
0〜100%負荷変動に対して  安定度    2%以下
出力調整範囲   ±30V−3KV 埋込みポテンショメータにより可変
 
出力ケ−ブル   高電圧BNC付同軸ケ−ブル(RG58A/U)
外部制御
(コネクタ)
  インタ−ロック入力   DC24Vによる制御
出力 ON入力      DC24Vによる制御
−極性入力       DC24Vによる制御
外部出力   出力動作中  無電圧接点(DC30V、200mA)
警報       無電圧接点(DC30V、200mA)
保護機能   過電圧     最大定格の110%以上が1秒間継続で警報
過電流     最大定格の120%以上が1秒間継続で警報
不足電圧   設定電圧の 85%以下が1秒間継続で警報
警報後も5分間は出力を継続します。
警報表示   アラ−ムLED   点灯

設置条件   水平 自然空冷(JIS標準ラック取付形)
電 源   AC100V 60VA  Fuse1A
外形寸法   W480xH99xD370
重 量   約7.6Kg
付属品   電源ケ−ブル      3m3P接地付   1本
外部制御用コネクタ  15P(Female)   1個
出力ケ−ブル      指定長       2本
 
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