０〜１００％負荷変動に対して 安定度 ２％以下
（コネクタ）
出力 ＯＮ入力 ＤＣ２４Ｖによる制御
−極性入力 ＤＣ２４Ｖによる制御
警報 無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ）
過電流 最大定格の１２０％以上が１秒間継続で警報
不足電圧 設定電圧の ８５％以下が1秒間継続で警報
警報後も５分間は出力を継続します。
外部制御用コネクタ １５Ｐ（Female) １個
出力ケ−ブル 指定長 ２本
| 静電チャック電源仕様 | ||
| 形 式 | ＥＳＣ３ＫＳ２４１ | |
| 定 格 | 出力±ＤＣ３ＫＶ ±０．５mＡ 電圧変動率 ２％以下 ０〜１００％負荷変動に対して 安定度 ２％以下 |
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| 出力調整範囲 | ±３０Ｖ−３ＫＶ 埋込みポテンショメータにより可変 |
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| 出力ケ−ブル | 高電圧ＢＮＣ付同軸ケ−ブル（ＲＧ５８Ａ／Ｕ） | |
| 外部制御 （コネクタ） |
インタ−ロック入力 ＤＣ２４Ｖによる制御 出力 ＯＮ入力 ＤＣ２４Ｖによる制御 −極性入力 ＤＣ２４Ｖによる制御 |
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| 外部出力 | 出力動作中 無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ） 警報 無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ） |
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| 保護機能 | 過電圧 最大定格の１１０％以上が１秒間継続で警報 過電流 最大定格の１２０％以上が１秒間継続で警報 不足電圧 設定電圧の ８５％以下が1秒間継続で警報 警報後も５分間は出力を継続します。 |
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| 警報表示 | アラ−ムＬＥＤ 点灯 |
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| 設置条件 | 水平 自然空冷（ＪＩＳ標準ラック取付形） | |
| 電 源 | ＡＣ１００Ｖ ６０ＶＡ Ｆｕｓｅ１Ａ | |
| 外形寸法 | Ｗ４８０ｘＨ９９ｘＤ３７０ | |
| 重 量 | 約７．６Ｋｇ | |
| 付属品 | 電源ケ−ブル ３ｍ３Ｐ接地付 １本 外部制御用コネクタ １５Ｐ（Female) １個 出力ケ−ブル 指定長 ２本 |
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