静電チャック電源仕様 | ||
形 式 | ESC3KS241 | |
定 格 | 出力±DC3KV ±0.5mA 電圧変動率 2%以下 0〜100%負荷変動に対して 安定度 2%以下 |
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出力調整範囲 | ±30V−3KV 埋込みポテンショメータにより可変 |
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出力ケ−ブル | 高電圧BNC付同軸ケ−ブル(RG58A/U) | |
外部制御 (コネクタ) |
インタ−ロック入力 DC24Vによる制御 出力 ON入力 DC24Vによる制御 −極性入力 DC24Vによる制御 |
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外部出力 | 出力動作中 無電圧接点(DC30V、200mA) 警報 無電圧接点(DC30V、200mA) |
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保護機能 | 過電圧 最大定格の110%以上が1秒間継続で警報 過電流 最大定格の120%以上が1秒間継続で警報 不足電圧 設定電圧の 85%以下が1秒間継続で警報 警報後も5分間は出力を継続します。 |
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警報表示 | アラ−ムLED 点灯 |
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設置条件 | 水平 自然空冷(JIS標準ラック取付形) | |
電 源 | AC100V 60VA Fuse1A | |
外形寸法 | W480xH99xD370 | |
重 量 | 約7.6Kg | |
付属品 | 電源ケ−ブル 3m3P接地付 1本 外部制御用コネクタ 15P(Female) 1個 出力ケ−ブル 指定長 2本 |
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