静電チャック電源仕様
形　式		ＥＳＣ１.５ＫＳ２５４
定　格		出力±ＤＣ１.５ＫＶ　　±４mＡ　電圧変動率　 ２％以下 ０〜１００％負荷変動に対して　安定度　　　　２％以下
出力調整範囲		±１５Ｖ−１.５ＫＶ　ポテンショメータにより可変 吸着電圧、引外電圧単独可変
引外タイマ−		０．２sec〜９９．９sec単位時間切換にて sec、min、hr　可能
出力ケ−ブル		高電圧ＢＮＣ付同軸ケ−ブル（ＲＧ５８Ａ／Ｕ）
外部制御 （コネクタ）		インタ−ロック入力　　　無電圧接点（オ−プンコレクタ） 出力　ＯＮ入力　　　 　　無電圧接点（オ−プンコレクタ） −極性入力　　　　　　　無電圧接点（オ−プンコレクタ）
外部出力		出力動作中　　　　　　　無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ） 警報　　　　　　　　 　　　無電圧接点（ＤＣ３０Ｖ、２００ｍＡ）
保護機能		過電圧　　　 　最大定格の１１０％以上が３秒間継続で出力ＯＦＦ 過電流　　　 　最大定格の１１０％以上が３秒間継続で出力ＯＦＦ 不足電圧　　　設定電圧の　８０％以下が１秒間継続で出力ＯＦＦ
警報表示		過電圧警報　　　　　　　ＬＥＤ　ＯＶ点灯 過電流警報　　　　　　　ＬＥＤ　ＯＣ点灯 不足電圧警報　　　　　 ＬＥＤ　ＯＶ点滅
設置条件		水平　自然空冷（ＪＩＳ標準ラック取付形）
電　源		ＡＣ１００Ｖ　１００ＶＡ　　Ｆｕｓｅ２Ａ
外形寸法		Ｗ４８０ｘＨ９９ｘＤ３７０
重　量		約７.６Ｋｇ
付属品		電源ケ−ブル　　　　　　３ｍ３Ｐ接地付　　　１本 外部制御用コネクタ　 　２５Ｐ（Female)　　　１個 出力ケ−ブル　　　 　　 指定長　　　　 　　　２本
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