静電チャック電源ラインナップ ESC3シリーズ

型式 仕様書
ESC3KS241   (±3KV 0.5mA) 仕様書(HTML)
ESC3KM05    (±3KV 0.5mA) 仕様書(HTML)
ESC3KM1     (±3KV 1mA) 仕様書(HTML)
ESC3KM10    (±3KV 10mA) 仕様書(HTML)
ESC3KEE20   (±3KV 40mA) 仕様書(HTML)
各電源の外形、仕様は
仕様書をご参照下さい
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